EDl設備屬於精細處理水系統，通常與反滲透（RO）配合使用，組成包含預處理、反滲透和EDl設備的超純水處理系統。EDl設備取代了傳統水處理工藝中採用的混合離子交換單元。
EDl設備要求水的電阻率達到0.025-0.5 MΩ.cm，反滲透設備完全可以滿足要求。EDl設備可以生產電阻率在15 MΩ.cm以上的超純水。
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